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溅射离子泵的特点及类型

  溅射离子泵的工作压强范围10-2~10-12托,常用压强范围是5×10-5~5×10-9托,抽速范围50~1200升/秒。
  这类泵有三极型、二极型和改进二极型(非对称型)、磁控管型(它对氩的抽速比普通二极型高得多)。这类泵不用工作液体,无碳氢化合物污染,工作可靠,寿命长,工作无噪音,结构坚实,不怕突然进入大气。目前绝大多数洁净真空基本上都是以这类泵作基础。广泛用于镀膜,电真空器件排气,粒子加速器等。当要求大抽速时,通常都与钛升华泵联合使用。缺点是体积大,笨重、对气体有较高的选择性,对急剧变化的气体负荷较敏感,启动较困难(特别在超高真空时)。
 

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